产品名称
FZ-100系列层流质量流量计
流量规格
0.5,1,2、5、10,205SCCM
准 确 度
±1%RD (20%~100%量程范围）或±02%F.S.(≤20%量程范围）、（RD-读数F.S.-满量程)
重复精度
±0.2%F.S.
温度源移
Zero: ≤±0.01%F.S./℃;Span：≤±0.01%F.S./℃（基准温度20℃）
工作范围
1%~100%F.S.(可达120%FS.）
响应时间
≤100ms
启动预热时间
≤1s
使用温度范围
-20℃C~60℃
使用湿度范围
0%~98%（无冷凝）
耐 压
1.5MPa
工作压力
1MPa
供电电压
+(18-30) VDC
消耗电流
＜150mA(＜3W)
安装方式
无指定(任意角度）
接气部材质
SUS304、SUS316L、航空铝材
显示方式
彩色LCD触摸屏
输出方式
模拟：（4-20）mA;数字∶RS485
评论晒单